Bài báo trình bày việc tính toán và phân tích các hệ số chuyển động electron của hỗn hợp khí carbon tetrafluoride (CF4) và krypton (Kr) bằng chương trình BOLSIG+. Các tham số được tính toán gồm: năng lượng trung bình của electron, độ linh động, hệ số khuếch tán với nhiều tỉ lệ trộn khác nhau. Kết quả giúp làm rõ sự phụ thuộc của các tham số chuyển động electron theo E/N, đồng thời cung cấp dữ liệu phục vụ các ứng dụng plasma và lắng đọng màng mỏng.
Từ khoá: phương trình Boltzmann; hỗn hợp khí CF4-Kr; BOLSIG+; hàm phân bố năng lượng electron (EEDF); độ linh động; hệ số khuếch tán
TCDN.2026.3(27).95-100 - Phan Thị Tươi
